研究論文
Tri-Axial Piezoresistive Accelerometer(一般社団法人 電気学会)
Development of 3-axis Gyro-Sensor Using Piezoelectric Element(一般社団法人 電気学会)
Development of 6-Axis Motion Sensors Using Piezoelectric Elements(一般社団法人 電気学会)
Development of the 3-axis Angular Velocity Sensor Using a Piezoelectric Element(一般社団法人 電気学会)
Micromachined 5-Axis Motion Sensor with Electrostation Drive and Capacitive Detection(一般社団法人 電気学会)
SOIウェハを用いた5軸モーションセンサとその設計一手法(一般社団法人 電気学会)
The 5-Axis Motion Sensor(一般社団法人 電気学会)