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研究論文・受賞歴

研究論文

Tri-Axial Piezoresistive Accelerometer(一般社団法人 電気学会)

Development of 3-axis Gyro-Sensor Using Piezoelectric Element(一般社団法人 電気学会)

Development of 6-Axis Motion Sensors Using Piezoelectric Elements(一般社団法人 電気学会)

Development of the 3-axis Angular Velocity Sensor Using a Piezoelectric Element(一般社団法人 電気学会)

Development of Tri-Accelerometers Using Piezoresistance,Electrostatic Capacitance and Piezoelectric Elements(一般社団法人 電気学会)

Five-axis motion sensor with electrostatic drive and capacitive detection fabricated by silicon bulk micromachining(Sensors and Actuators:USA)

Micromachined 5-Axis Motion Sensor with Electrostation Drive and Capacitive Detection(一般社団法人 電気学会)

SOIウェハを用いた5軸モーションセンサとその設計一手法(一般社団法人 電気学会)

The 5-Axis Motion Sensor(一般社団法人 電気学会)

慣性センサへの応用(社団法人 計測自動制御学会)

静電容量型6軸力覚センサの開発・設計・製造(公益社団法人 精密工学会)

カ・トルクセンサモジュール回路(自動化技術 誌)

加速度センサモジュール回路(自動化技術 誌)

加速度を検出するセンサ(自動化技術 誌)

3軸ピエゾ抵抗型加速度センサ(センサ技術 誌)

3軸加速度センサ(計測技術 誌)

圧電素子を用いた2重共振3軸発電素子(一般社団法人 電気学会)

 

 

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